Вакуумная линия для напыления зеркальных покрытий

Нас интересует вакуумная линия для нанесения зеркальных покрытий.

 

В продолжение нашего телефонного разговора, направляю Вам информацию по вакуумному напылению зеркальных покрытий. Вакуумная линия может в себя включать от трех до пяти рабочих вакуумных камер. Количество рабочих камер определяется технологией и производительностью линии. В том числе и подбирается необходимое количество магнетронов. В польском варианте в рабочей камере располагается 3 магнетрона. Линия в основном предназначена для вакуумного нанесения зеркальных покрытий. Для расширения цветовой гаммы целесообразно введение ионных источников, анализатора плазмы и магнетронов с узкой мишенью (ширина 80-85 мм). Ориентировочный срок изготовления 8-12 месяцев в зависимости от комплектации и состава линии.

Состав вакуумной технологической линии

  1. Вакуумная технологическая линия может включать в себя 3-5 камер в зависимости от вида покрытий.
    1. Камера загрузки и предварительного нагрева Рр = (5*10-2 - 10-2) мм.рт.ст.
    2. Камера нагрева и ионной очистки Рр = (10-3 - 10-4) мм.рт.ст.
    3. Камера нанесения 1-го покрытия или подслоя Рр = (5*10-2-5*10-3) мм.рт.ст. Количество магнетронов: 2 шт.
    4. Камера нанесения покрытия Рр = (5*10-2-5*10-3) мм.рт.ст. Количество магнетронов: 2 шт. В зависимости от технологии камеры III и IV могут быть совмещены.
    5. Камера остывания и выгрузки.
  2. Размер рабочих камер: длина - 2500 мм, ширина - 1500 мм, высота - 4000 мм.
  3. Размер мишени: 1400х80 мм.
  4. Мощность магнетронных источников: 350 кВт.
  5. Камеры I, V - форвакуумные системы откачки.
  6. Камеры II, III, IV - высоковакуумные системы откачки.
  7. Быстрота действия форвакуумных агрегатов: 1000-1500 л/с.
  8. Количество затворов: 6 шт.
  9. Количество высоковакуумных диффузионных и бустерных насосов: по 3 шт.
  10. Производительность линии: до 250000 м2/год.
  11. Количество силовых стоек: 2 шт. Размер стойки питания магнетронов и ионных источников: 1500х600х1900 мм.
  12. Стойка контроля технологическими параметрами: 1 шт. Размер стойки: 1500х600х1900 мм.
  13. Стойка управления технологическим процессом: 1 шт. Размер стойки: 1500х1000х1700 мм.
  14. Площадь, занимаемая линией:
    1. Механическая часть (камеры с затвором и зоной загрузки): 15000х2500 мм.
    2. Система откачки: 8000х2000 мм.
    3. Электрооборудование: 6000х1500 мм.

Предлагаем также подробнее ознакомиться с другими установками вакуумного напыления.

С уважением, Лауреат Госпремии РБ, к.т.н. Мазуркевич Александр Михайлович.

 

Также см.: