Получение устойчивой технологии на вакуумном оборудовании

На имеющемся вакуумном оборудовании не можем получить устойчивую технологию. Можете что-то посоветовать?


Вакуумно-плазменное осаждение относится к неравновесным процессам. Речь идет о том, что при фиксированных параметрах технологии по мере работы на установке свойства покрытий от цикла к циклу различны по качеству (адгезия, пористость, цвет, блеск и т.д.). Это явление не причина оборудования, а свойства ионно-плазменных методов (электронно-дуговая, магнетронная). Ситуация вызвана тем, что помимо явных параметрах технологического процесса (ток, напряжение, давление, подмагничивание и т.д.) существуют параметры, которые мы не можем контролировать. К таким параметрам следует отнести изменение эффективной быстроты откачки во времени, сорбционные явления, износ катода и т.д.

Это явление существенно изменяет стехиометрию, физико-механические свойства покрытий. При этом нельзя не отметить в покрытии наличие капельной фазы. Проведенные в 1985-1995 г. физические исследования поверхности подложки и покрытий, формируемых вакуумно-плазменным осаждением, показали, что для повышения качества необходимы определенные конструктивные решения. В этом плане были проведены следующие работы по совершенствованию оборудования:

  1. Применен прибор анализа плазмы. При этом управление потоком технологического газа проводится не по давлению, а по спектру плазмы, тем самым поддерживается соотношение ионов газа и материала катода 50% на 50%. Таким образом, в определенной степени исключается влияние сорбционных явлений на изменение свойств покрытий от цикла к циклу.
  2. Проведено совершенствование испарителя с целью существенного снижения капельной фазы.
  3. Бесконтактный прибор контроля температуры.
  4. Ионный источник газа. Ионный источник позволяет проводить оснастку, активацию поверхности, снизить температуру процесса, тем самым обеспечивая формирование покрытий с высокими физико-механическими свойствами.

Блок питания и управления ионного источника, прибор анализа плазмы, прибор контроля температуры размещаются в отдельной независимой стойке. Предлагается построить работу следующим образом:

  1. Наш специалист прибывает к вам, проводит деффектацию установки, передает чертежи по расточке камеры, изготовлению фланцев. Проводит техническую консультацию по модернизации вакуумной установки, согласование передачи количества технологий, обучение специалистов Заказчика.
  2. Стоимость пуско-наладочных работ, обучение персонала, передача технологий согласовываются с Заказчиком согласно количеству дней пребывания, объема технологий и т.д.
  3. По решению Заказчика возможно заключение договора на сервисное обслуживание и дальнейшую передачу и совершенствование технологий.
С уважением, Лауреат Госпремии РБ, к.т.н. Мазуркевич Александр Михайлович.

 

Также см.: