Модернизация вакуумной установки Булат-6

Планирую модернизацию вакуумной установки Булат-6. Необходимо заменить 3 штатных дуговых источника на 3 планарных DC-магнетрона. Диаметр катодов должен быть 110 мм.

Планирую наносить металлические покрытия и нитрид титана на изделия из металла и стекла. Источника питания пока нет. Буду покупать в зависимости от того, какие характеристики будут у тех магнетронов, что я буду устанавливать. Если у Вас есть предложения по поводу источников питания, присылайте.

 

Для модернизации вакуумной установки Булат-6 и получения устойчивой технологии и повторяемости результатов от цикла к циклу, особенно при получении соединений, в частности нитрид титана, рекомендуется:

  1. Ионный источник газа как для подготовки, так и для ассистирования покрытий во время осаждения.
  2. Источник питания магнетрона должен быть импульсный, так как при применении стационарного блока могут возникать проблемы при формировании соединений.
  3. Для магнетрона требуется узкий диапазон регулирования потока технологического активного газа. В данном случае, эту задачу могут выполнить приборы спектрального управления потоком газа. Можно применить и обычно применяют РРГ, однако в большей степени подходят при формировании металлических покрытий, а при соединениях покрытия формируют источник газа как длся не устойчивые от цикла к циклу.

Помимо этого, в вакуумной камере желательного иметь трубчатые нагреватели, которые обеспечивают нагрев подложек до заданной температуры.

Вакуумная установка Булат-6 будет работать в автоматическом режиме управления или ручном?

Прошу сообщить Ваше решение по предлагаем компонентам.

С уважением, Сергей Мазуркевич.

 

Также см.: