Модернизация вакуумной установки ННВ-6,6И1

Прошу Вас рассмотреть вопрос модернизации ионно-плазменной вакуумной установки ННВ-6,6И1 и предоставить коммерческое предложение на необходимые работы. Дата изготовления установки: 1984 г.

Перечень узких мест на установке:

  1. Частые отказы блока управления электромагнитным натекателем газа (БУЭН), что приводит к нерегулируемой подачи газа (азота) в камеру. Кроме того сам клапан натекателя имеет выработку. Желательна замена системы натекания газа.
  2. Во время вакуумной очистки катоды ионных пушек горят не стабильно, часто гаснут и не поджигаются повторно. Для качественного покрытия нитридом титана необходимо горение, как минимум, 2-х катодов из 3-х. Два катода не могут долго работать в паре, гаснут.
  3. Нет герметичности воздушных и вакуумных клапанов, что приводит к натеканию в камеру воздуха и потере вакуума. Желательна замена клапанов.
  4. Сбои в работе блоков управления высоким напряжением (БУН).
  5. Нет чистоты поверхности покрытия из-за возникновения искровых разрядов во время ионной очистки поверхности детали. Схема для срыва искрового разряда срабатывает с запаздыванием, из-за чего на полированной поверхности детали появляются царапины.

 

Направляем Вам предложение по модернизации вакуумной установки ННВ-6,6И1.

  1. Для повышения качества очистки поверхности, а также повышения физико-механических свойств покрытий предлагается использовать ионный источник газа с импульсным блоком питания. Ионный источник обеспечивает работу, как в режиме очистки, так и в режиме сопутствующей ионной обработки в режиме осаждения.
    Параметры источника:
    1. Ионный ток: 0-5 А.
    2. Ускоряющее напряжение: до 350 В.
    3. Мощность: 2,3 кВт.
  2. Для обеспечения стабильности поступающего технологического газа в вакуумную камеру, предлагается использовать прибор спектрального управления и подачи технологического газа. Управление потоком технологического газа осуществляется за счет применения оптических датчиков.
  3. Улучшение качества горения дуги на катоде возможно за счет:
    1. Изменения конструкции блока поджига.
    2. Блока питания соленоидов.
    3. Применение импульсного блока питания.
  4. Ввиду морально устаревшей конструкции вакуумных клапанов, мы в своих конструкциях вакуумных систем используем клапаны пневматического действия. Вам будет проще заказать клапаны типа КМУ-50 в Казани.

С уважением, Сергей Мазуркевич.

 

Также см.: