Каков должен быть состав вакуумного оборудования для напыления Al?

Предоставляю Вам данные по размерам самоклеющегося листа: длина 1340 мм, ширина 820 мм, толщина 0,05 мм. Минимальный размер самоклеющегося листа, который возможен у нас в производстве: длина 600 мм, ширина 150 мм. Относительно пластика, одна сторона квадрата равна 475 мм.

Прошу предоставить варианты вакуумных установок для вакуумного напыления Al.

 

Для выполнения Ваших задач предлагаем следующий состав оборудования:

  • Вакуумная установкаВакуумная камера диаметром 1200 мм, высотой 1000 мм. Позволит напылять 2 листа (1340х820 мм) за один цикл. Цикл до 30 минут.
  • Насосы: форвакуумный агрегат: Е2М275/ЕН1200, Эдвардс.
  • диффузионный агрегат ДУ 400, Россия.
  • Технологические источники: магнетроны 2 шт по 20 квт с импульсными блоками питания, ионный источник 1 шт с импульсным блоком питания.
  • Стойка питания и управления на базе контроллеров Сименс или Адвантейч.
  • Стойка питания.
  • Гидравлика, пневматика СМС.
  • Вакуумные датчики.
  • Технологическая оснастка.
  • РРГ: 3 канала.

Режим управления - полуавтоматический. Срок выполнения работ - 7 месяцев.

Вакуумная установка позволит наносить металлы, а также получать нитриды, карбонитриды (получать цвета широкой цветовой гаммы)на изделия с низкой температурой плавления.

Такие толщины покрытий достигаются с помощью резистивного испарителя. Мы можем Вам предложить оборудование как на резистивном испарителе, так и на магнетроне с ионным источником.

Толщина (100-150 мкм) Вам необходима исходя из дальнейших технологических задач (для полировки, подгонки, притирки и т.д.) или при такой толщине наблюдается эффективность покрытия? Дело в том, что магнетронные источники превосходят резистивные по качеству покрытия. Покрытия получаются более плотные при более тонких пленках. Поэтому, нам необходимо знать глубину вогнутости (сообщите форму детали и ее размеры: диаметр, глубину ... ), так как магнетрон имеет некоторые ограничения. Если возможно, пришлите эскиз детали - это снимет все вопросы.

С уважением, Лауреат Госпремии РБ, к.т.н. Мазуркевич Александр Михайлович.

 

Также см.: