Установка V-700-О для нанесения оптических покрытий

Интересует вакуумная установка для нанесения оптических покрытий.

 

Направляю предложения по изготовлению и поставке вакуумной установки V-700-О для нанесения оптических покрытий.

1. Назначение вакуумной установки

Вакуумная установка модели V-700-О предназначена в основном для нанесения многослойных отрезающих и полосовых оптических фильтров в диапазоне от 3,5 мкм до 12 мкм. Установка работает в автоматическом режиме и также может использоваться для нанесения и других оптических покрытий (просветляющих, интерференционных и др.).

2. Состав вакуумной установки

Вакуумное оборудование для нанесения оптических покрытийВакуумная установка предусматривает применение импортных комплектующих: контроллер откачки, контроллер технологического процесса, контроллер температуры, вакуумметр, блок напуска газа, система кварцевого контроля, спектральная система контроля покрытий, в основном фирм «Simens», «Бальцерс» и т.п.

  1. Механическая часть.
    • Форвакуумный агрегат НВР25Д/НД150.
    • Высоковакуумный насос Н400/7000.
    • Высоковакуумный затвор пневматического действия.
    • Высоковакуумная ловушка. (Фреоновая или азотная по согласованию с Заказчиком).
    • Камера вакуумная D-700мм, H-780 мм.
    • Трубчатые внутрикамерные нагреватели.
    • Технологическая оснастка со сменным куполом.
    • Технологическая оснастка планетарного действия.
    • Резистивные испарители с дозатором напыляемого вещества - 4 шт.
    • Испаритель электронно-лучевой.
    • Ионизатор.
    • Система гидравлическая.
    • Система пневматическая.
  2. Стойка управления с входящими блоками.
    • Контроллер откачки «Siemens».
    • Контроллер технологического процесса «Siemens».
    • Контроллер температуры.
    • Вакуумметр «Бальцерс».
    • Блок напуска газа.
    • Привод технологической оснастки.
    • Стойка питания испарителя.
    • Спектральная система контроля покрытий.
    • Система кварцевого контроля.

3. Описание и взаимодействие основных частей установки

Вакуумная система установки включает в себя форвакуумный агрегат с пластинчато-роторным и двухроторным насосом, высоковакуумный насос, азотную или фреоновую высоковакуумную ловушку, высоковакуумный затвор и клапаны пневматического действия. Производительность форвакуумного агрегата - 150 л/с, предельное давление 1х10-3 мм рт.ст. Производительность высоковакуумного насоса - 7000 л/с, предельное давление - 5х10-7 мм рт.ст. при работе с азотной ловушкой.

В вакуумной камере размещаются:

  • датчики контроля давлений и температуры,
  • датчики спектрометрической системы и кварцевого контроля,
  • технологическая оснастка,
  • резистивные испарители,
  • электронно-лучевой испаритель,
  • ионизатор,
  • дозатор напыляемого вещества,
  • нагреватели,
  • механизм перевода контрольных образцов с 8-ю сменными свидетелями.

Технологическая оснастка планетарного вращения с 3-мя вращающимися дисками диаметром 300 мм, на которых размещаются оптические детали.

Установка включает в себя две стойки управления и питания. Одна стойка обеспечивает управление установкой, вторая - питание и управление электронно-лучевым испарителем.

Процесс нанесения покрытий происходит в автоматическом режиме, с выводом спектральной характеристики на монитор компьютера. Монитор компьютера располагается на столике оператора.

Спектрометрическая система имеет два режима работы: для видимой области (350-850) нм и для ИК-области (1000-2500) нм, разрешение в видимой области не хуже 1,5 нм, в ИК-области (3-5) нм.

Контроль толщины покрытий проводится по образцам свидетелям, расположенным в механизме перевода. Количество образцов не менее - 8 шт.

Дозатор управляет автоматической подачей испаряемых материалов, тем самым обеспечивает стехиометрический состав оптических покрытий.

Нагреватели обеспечивают нагрев изделий до температуры - 3200ºС.

Время одного цикла для нанесения фильтров в зависимости от технологического процесса составляет 8 часов.

Блок питания ЭЛИ (стойка питания и управления) состоит из трех блоков:

  • силового,
  • блока накала,
  • блока технологического, который изготовлен на современной базе и решает функции в автоматическом режиме.

Блок питания ЭЛИ обеспечивает в автоматическом режиме следующие функции:

  • нанесение необходимой толщины покрытий с учетом выбранного материала и установленной скорости испарения,
  • регулирование тока накала,
  • выход на рабочий режим,
  • стабилизацию ускоряющего напряжения,
  • стабилизацию скорости нанесения покрытий,
  • вращение тиглей с определением каждой позиции,
  • остановка процесса нанесения покрытий.

Для отображения информации применен логический контроллер, который задает необходимые параметры, управляет режимами работы.

Дополнительно предусмотрен блок с системой автоматического сканирования электронного луча SWEEP. Система SWEEP позволяет сканирование луча по заданной программе и траектории, тем самым обеспечивает равномерную выработку испаряемого материала.

Кварцевый контроль. Система кварцевого контроля включает в себя измерительною головку фирмы «MAXTEX» (США) и блок питания информации. Измерительная головка водоохлаждаемая, количество позиций - согласуется с Заказчиком.

С уважением, Лауреат Госпремии РБ, к.т.н. Мазуркевич Александр Михайлович.