Особенности модернизированной вакуумной установки ВУ-2МБС

Сообщите, пожалуйста, какими отличительными особенностями обладает модернизированная вакуумная установка ВУ-2МБС по сравнению с немодернизированной.

 

Состав модернизированной ВУ-2МБС

Модернизированная вакуумная установка по сравнению с установкой ВУ-2МБС включает следующие дополнительные узлы:

  1. Два планарных электродуговых источника с размерами катода 250х200 мм. Планарные дуговые источники не только значительно снижают канальную фазу, но и расширяют рабочую зону осаждения до 500 мм.
  2. Два планарных ионных источника с энергией ионов до 2000 эВ и размерами ионного пучка на срезе анода 250х60 мм. Наличие ионных источников позволяет снизить температуру процесса, наносить покрытия на детали с низкой температурой отпуска и мелкоразмерные изделия, что практически недостижимо обычным электродуговым способом.
  3. Программируемый прибор спектрального контроля и управления технологическим газом РРС-453. Прибор спектрального управления и контроля независимо от режимов работы оборудования поддерживает концентрацию плазмы на заданном уровне, тем самым обеспечивая воспроизводимость формируемых покрытий от цикла к циклу.
  4. Прибор контроля температуры 10-ти канальный с возможностью замера температуры касания термопары.

Применение дополнительных узлов существенно расширяет технологические возможности, производительность установки и решает вопросы воспроизводимости формируемых покрытий.

Преимущества модернизированной ВУ-2МБС

Таким образом модернизированная вакуумная установка по сравнению с обычной ВУ-2МБС имеет ряд преимуществ:

  1. Эффективная площадь осаждения покрытий больше, чем в два раза.
  2. Значительно меньше капельная фаза.
  3. Возможность проведения качественной очистки ионами газа, особенно это важным является для мелкоразмерных изделий и изделий с температурой отпуска 200-250оС.
  4. Возможность нанесения покрытий при пониженных температурах.
  5. Возможность проведения сопутствующей ионной обработки (ионного ассистирования), тем самым формировать покрытия с высокими физико-механическими свойствами.
  6. Возможность нанесения покрытий с воспроизводимыми механическими свойствами.

С уважением, Лауреат Госпремии РБ, к.т.н. Мазуркевич Александр Михайлович.

 

Также см.: