Нанесение оптических декоративных покрытий на крупногабаритные изделия

Необходима вакуумная установка для нанесения оптических, декоративных покрытий на крупногабаритные изделия.

 

Вакуумная установка V-1,5-«О»-IP предназначена для нанесения оптических покрытий с применением магнетронных и ионных источников на крупногабаритные изделия.

Установка может также использоваться для нанесения декоративных покрытий на детали различного назначения.

Состав вакуумной установки

Вакуумное оборудование для нанесения оптических покрытийВакуумная установка состоит из следующих основных узлов:

  1. Форвакуумная система откачки, 2 шт.
  2. Высоковакуумная система откачки, 4 шт.
  3. Вакуумная камера: диаметром 2000 мм , длина 2600 мм.
  4. Магнетронный источник, 3 шт.
  5. Ионный источник, 1 шт.
  6. Технологическая оснастка, 1 шт.
  7. Стойка управления, 1 шт.
  8. Стойка питания, 3 шт.
  9. Прибор спектрального управления и контроля технологическим газом, 1 шт.
  10. Спектрометрическая система контроля толщины оптических покрытий, 1 шт.
  11. Нагреватели, 6 шт.

Основные технические характеристики

  1. Время достижения давления в рабочей камере: 2х10-3 Па – 30 мин.
  2. Мощность блоков питания магнетрона: 10-25 кВт.
  3. Размер мишени магнетрона:
    Длина: 1960 мм.
    Ширина: 85 мм.
  4. Размер ионного пучка на срезе анода:
    Длина: 2000 мм.
    Ширина: 100 мм.
  5. Ускоряющее напряжение ионного источника: 0-2500 В.
  6. Рабочий диапазон давлений ионного источника: 10-1 – 10-2 Па.
  7. Ионный ток источника: 0-0,6 А.
  8. Режим сопутствующий ионной обработке ионным источником обеспечивается.
  9. Система анализа плазмы – многоканальная.
  10. Система контроля толщины покрытий может работать как на отражение, так и на пропускание с выводом спектральной характеристики на монитор компьютера.
  11. Диапазон контроля толщины покрытий: 300-900 нм.
  12. Размещение технологических источников – внутрикамерное.

Технологическая возможность установки

  • Нанесение покрытий на внутренние и наружные поверхности изделий.
  • Нанесение покрытий на стекло, керамику, оптику, металлическую и другие подложки.
  • Формируемые покрытия: окислы AL2O3, TiO2, (Si/Al)2O3, (In/Sn)2O3, Zr2O3, металлы (Ti, Al, Zr и т.д.), нитриды (TiN, AlN, ZrN), карбиды (TiC, ZrC), карбонитриды и т.п.

С уважением, Лауреат Госпремии РБ, к.т.н. Мазуркевич Александр Михайлович.

 

Также см.: