Вакуумная установка для нанесения упрочняющих многослойных покрытий

В связи с плановым переоборудованием материальной базы для обучения студентов дневного отделения существует потребность обновления вакуумного оборудования. Прошу выставить коммерческие предложения по установкам вакуумного напыления.

Установка будет использоваться не только для учебного процесса, но и в совместных проектах с различными предприятиями Тульской области, задачей которых является нанесение упрочняющих многослойных покрытий на различные подложки. С удовольствием отвечу на все возникшие вопросы.

Основные параметры:

  • Размеры вакуумной камеры: 500х500х500 мм.
  • Форма камеры: D-форма, цилиндрическая.
  • Материал камеры: нержавеющая сталь.
  • Охлаждение: водяное.
  • Смотровые окна: 1 фронтальное.
  • Форвакуумный насос: масляный.
  • Предельное давление: 10-5 торр.
  • Метод распыления: магнетронное.
  • Количество магнетронов: 2-3.
  • Размер катодов: 50-60 мм.
  • Тип источников: DC - 1шт; RF - 1шт.
  • Подогрев подложки: порядка 200-300ºС.
  • Контроль толщины слоя: кварцевый датчик.
  • Рабочий газ: азот, аргон.

 

Предлагаем Вам вакуумную установку V-500 в следующем составе:

  1. Диффузионный насос ДУ-250, HSR.
  2. Высоковакуумный пневматический затвор.
  3. Азотная ловушка.
  4. Вакуумные пневматические клапаны.
  5. Форвакуумный агрегат фирмы PFEIFER или фирмы Edvards.
  6. Вакуумная камера из нержавеющей стали D = 500 мм, H = 500 мм.
  7. Магнетронные источники - 2 шт.
  8. Блок питания магнетронного испарителя - 2 шт. Один импульсный 60 кГц, второй ВЧ 13.6 мГц.
  9. Источник опорного и высокого напряжения.
  10. Ионный источник - 1 шт. Ионный источник может работать как в режиме очистки, так и в режиме ассистирования, тем самым покрытия формируются с высокими физико-механическими свойствами.
  11. Стойка управления и питания на базе контроллера Адвантейч.
  12. Планетарная технологическая оснастка.
  13. Запасные части и принадлежности.
  14. Вакуумметр комбинированный.
  15. Комплект нагревателей внутрикамерных.
  16. Гидравлическая и пневматическая системы SMC.

Срок изготовления вакуумной установки составляет не более 7 месяцев со дня оплаты аванса. В стоимость контракта входят пуско-наладочные работы, а также обучение персонала по работе с установкой. Вакуумная установка работает в автоматическом режиме управления с помощью ПК по заданной программе.

С уважением, Сергей Мазуркевич.

 

Также см.: