Вакуумные линии

Вакуумная технологическая линияВакуумная линия предназначена для нанесения широкого спектра покрытий (защитно-декоративных, упрочняющих, оптических) комбинированными методами в автоматическом режиме.

Состав вакуумной линии

  1. Модуль загрузки (подготовки) изделия к напылению. Модуль предназначен для предварительной очистки и обезгаживания изделия.
  2. Рабочая камера. В рабочей камере происходит окончательная очистка, обработка изделия планарным ионным источником и нанесение требуемых покрытий планарными магнетронами по заданной технологии. В рабочей камере размещено устройство для перемещения изделия, магнетроны планарной конструкции, нагревательные элементы, датчики контроля давления, спектра плазмы, спектрометрической системы.Вакуумная технологическая линия
  3. Вакуумная система состоит из высокопроизводительных высоковакуумных насосов и агрегатов предварительной откачки. Вакуумная система обеспечивает достижение необходимого давления в модулях загрузки (подготовки), выгрузки изделия и непосредственно в рабочей камере.
  4. Модуль выгрузки или (выхода изделия) предназначен для стабилизации давления и температурных параметров.
  5. Ионный источник обеспечивает очистку, активацию поверхности изделия ионами аргона.
  6. Магнетроны планарной конструкции.
  7. Устройство перемещения обеспечивает автоматическое движение изделия с позиции загрузки на позицию выгрузки.
  8. Прибор анализа плазмы и управления расходом технологического газа обеспечивает стабилизацию технологических параметров и воспроизводимость процесса получения покрытий.
  9. Спектрометрическая система контроля толщины покрытий обеспечивает контроль покрытий в автоматическом режиме с выводом характеристики на монитор компьютера.
  10. Стойка питания предназначена для питания магнетронных и ионных источников и других исполнительных механизмов.
  11. Стойка управления обеспечивает автоматическое проведение технологического процесса нанесения покрытий. В стойку управления входят контроллеры откачки, температуры, прибора анализа плазмы, спектровизор, прибор замера остаточных давлений и т.д.

К особенностям вакуумной технологической линии следует отнести

  • Исключение периодической загрузки изделий в рабочую камеру существенно уменьшает наличие примесей и формирование однородных покрытий, а также существенно увеличивает производительность установки.
  • Возможность контроля толщины покрытий в режиме осаждения и вывод спектральной характеристики на монитор компьютера.

Технические характеристики вакуумных технологических линий

  1. Количество камер: 3-7 шт.
  2. Размеры подложек:
    - длина до 4000 мм;
    - ширина до 3000 мм.
  3. Количество магнетронов: 2-7 шт.
  4. Количество ионных источников: 1-3 шт.
  5. Время цикла: от 60 сек.
  6. Мощность блока питания магнетрона: 10-70 кВт.

Схема вакуумной технологической линии

Условные обозначения:
1 - Нагреватель.
2, 3, 5, 7, 9 - Камера.
4 - Источник ионов.
6, 8 - Магнетроны.
10 - Изделие.
11, 12 - Стойки питания.
13 - Стойка контроля.
14 - Форвакуумная система.
15 - Высоковакуумная система.
16 - Стойка управления.
17 - Затвор.
I, II, III, IV, V - Камеры.

 

Также см.: