Приборы для управления ионно-плазменными процессами

ПолихроматорПриборы для управления ионно-плазменными процессами предназначены для контроля толщины покрытий и применяются в вакуумных установках нанесения покрытий с технологическими источниками типа магнетронного, дугового, термического, электронно-лучевого и др. Приборы эффективны при нанесении сложных оптических покрытий (просветляющих, отражающих, интерференционных светофильтров). Их информационные возможности намного превосходят возможности известных систем контроля коэффициента отражения покрытия на фиксированной длине волны, или систем контроля толщины покрытия, например, на пьезодатчиках.

Приборы предназначены для контроля коэффициента отражения как на подвижной, так и не подвижной поверхности образцов (изделий, свидетеля). В качестве основной информации на экране монитора компьютера в реальном времени представлен график зависимости коэффициента отражения покрытия (в %) от длины волны в пределах рабочего спектрального диапазона. Система также обеспечивает экспрессный послеоперационный контроль и регистрацию (с выводом результатов на печать) спектра отражения и спектра пропускания созданного покрытия.

Структурная схема прибора для управления ионно-плазменными процессами

  1. Структурная схема прибора для управления ионно-плазменными процессамиИсточник зондирующего излучения.
  2. Полихроматор.
  3. Детектор.
  4. Компьютер.
  5. Оптоволокно для приема отраженного от образца света.
  6. Оптоволокно для передачи на образец зондирующего света.
  7. Объектив.
  8. Образец.
  9. Оптоволокно для приема зондирующего света.
  10. Программное обеспечение.

В приборе применяется стандартный полихроматор SL 40.

Параметры регистрации спектров

  • Количество каналов регистрации: 1024.
  • Количество спектров за одно измерение: 1-255.
  • Время интегрирования для регистрации одного спектра: 0,001 с - 10 минут.
  • Задержка начала регистрации после запуска внешнего устройства (включения фотозатвора): 1 мс - 60 с.
  • Пауза между соседними по времени спектрами: 1 мс - 1 мин.
  • Чувствительность при Е = 7 КэВ: 200 фотонов/отсчет АЦП.
  • Динамический диапазон: не хуже 1/30000.

Параметры детектора

  • Однородность чувствительности по диодам (при калибровке): не хуже ±1%.
  • Температура детектора: 30°С.
  • Аналогово-цифровой преобразователь: 16 бит.
  • Микропроцессор: DS5000, 8 бит, RAM/ROM 32 К.
  • Время преобразования: 6 мкс/диод.
  • Общее время кодирования: 7 миллисекунд.
  • Интерфейс для связи с компьютером: параллельный ЕРР.

Основные технические характеристики прибора для управления ионно-плазменными процессами

  • Спектральный диапазон: от 380 до 860 нм (в зависимости от задач, может сдвинут в ультрафиолетовую область или дополнен ультрафиолетовым диапазоном).
  • Спектральное разрешение: не хуже 1,5 нм.
  • Управление работой с помощью ПК.
  • Выход на режим: не более 5 мин.
  • Продолжительность непрерывной работы: не менее 24 часов.
  • Режим процесса регистрации непрерывный с экспозицией: 16 мс.
  • Программное обеспечение позволяет производить настройку, юстировку прибора, контролировать и сравнивать с эталоном коэффициент отражения образцов в ходе техпроцесса.

Технические характеристики полихроматора

  • Спектральный диапазон: 300-1100 нм.
  • Дисперсия: 55 нм/мм.
  • Спектральное разрешение: менее 2,5 нм.
  • Габариты: 80x150x250 мм.
  • Волоконно-оптические входы: до 3 шт.

 

Также см.: