Несбалансированные магнетронные распылительные системы

Магнетронный испаритель

Магнетронный испарительОптимизация конструкции магнетронных источников, применение сильноточного водоохлаждаемого соленоида расширяют, как технологические возможности, так и технические характеристики магнетронных распылительных систем.

Применение несбалансированных магнетронных испарителей по сравнению с традиционными, позволяет формировать вакуумные покрытия с большей производительностью и существенно расширить эффективную рабочую зону источников.

Характеристики несбалансированных магнетронных распылительных систем

  • Размер мишени:
    - длина до 2500 мм;
    - ширина 80-200 мм;
    - толщина до 12 мм.
  • Рабочее напряжение: 380-600 В.
  • Рабочий ток: 2-60 А.
  • Мощность блока питания: 10-50 кВт.
  • Ток соленоида: 20-80 А/виток.
  • Рабочая зона: 60-200 мм.

Обратите внимание на перечень наших вакуумных установок в Москве.

 

Также см.: