Вакуумные дуговые источники

Плазменный дуговой источникВакуумные дуговые испарители нашли эффективное применение в основном при нанесении упрочняющих покрытий.

Характерным недостатком для испарителей с коаксиальной формой катода является наличие капельной фазы и ограниченная по размерам эффективная рабочая зона осаждения. Это не позволяет наносить покрытия на крупногабаритные изделия и использовать их для коррозионностойких и декоративных покрытий. Напротив, секционные планарные плазменные дуговые источники с прямоугольной формой катода не только обеспечивают вакуумное нанесение покрытий на большие площади, но и по сравнению с коаксиальными практически исключают капельную фазу. Длина эффективной рабочей зоны осаждения таких испарителей составляет 0,9 высоты (длины) боковой поверхности вакуумной камеры.

Характеристики плазменных дуговых источников

  • Размер секции.
    - Длина до 300 мм.
    - Ширина до 200 мм.
    - Высота 40 мм.
    - Количество секций: 1-5.
  • Размер рабочей зоны:
    - длина до 450 мм (на одну секцию);
    - ширина до 350 мм (на одну секцию).
  • Рабочий ток: 50-300 А.

Плазменный дуговой источникНаряду с планарными могут изготавливаться коаксиальные и линейные вакуумные дуговые источники.

  • Размер катода.
    - для коаксиальных, диаметр: 60-200 мм.
    - для линейных, диаметр: 40-150 мм.
    - длина: до 3000 мм.

 

Компания «Технологии и Предложения» осуществляет ремонт и модернизацию вакуумных установок по всей России.

 

Также см.: