Вакуумная установка для нанесения оптических покрытий

Вакуумная установка позволяет в автоматическом режиме наносить многослойные оптические покрытия широкого назначения. Среди них: просветляющие покрытия, отражающие, интерференционные, поляризующие, токопроводящие покрытия, защитные, светопоглощающие и другие.

Вакуумное оборудование для нанесения оптических покрытий Вакуумное оборудование для нанесения оптических покрытий

Характеристики вакуумного оборудования для нанесения оптических покрытий

  1. Размеры вакуумных камер:
    - Диаметр: 700-1300 мм.
    - Высота или длина: 800-1500 мм.
    - Вакуумные камеры вертикального исполнения.
  2. Помимо традиционных средств откачки, применяются криогенные и турбомолекулярные насосы.
  3. Технологическая оснастка может быть как с нижним, так и верхним приводом вращения, со сменным куполом, планетарного действия.
  4. Технологические источники:
    - электронно-лучевые испарители,
    - ионные источники газов,
    - резистивные испарители с дозатором напыляемого вещества,
    - магнетронные источники.
  5. Стойки питания и управления установки предусматривают применение импортных комплектующих стран Великобритании, Германии, Японии, США: контроллеры откачки, технологического процесса, температуры, привод вращения технологической оснастки, прибор анализа плазмы и управления расходом технологического газа, спектральная система, система кварцевого контроля.

Описание вакуумной установки

Для традиционных средств откачки вакуумная система включает: форвакуумный агрегат с пластинчато-роторным и двухроторным насосом, высоковакуумный насос, азотную или фреоновую высоковакуумную ловушку, высоковакуумный затвор и клапаны пневматического действия.

В вакуумной камере размещаются: датчики контроля давлений, температуры, датчики спектрометрической системы, кварцевого контроля, технологическая оснастка, резистивные испарители, электронно-лучевой испаритель, ионизатор, дозатор напыляемого вещества, нагреватели, механизм перевода контрольных образцов с 8-ю сменными свидетелями. Технологическая оснастка планетарного вращения с 3-мя вращающимися дисками диаметром 300 мм, на которых размещаются оптические детали. Установка включает в себя две стойки управления и питания. Одна стойка обеспечивает управление установкой, вторая - питание и управление электронно-лучевым испарителем.

Вакуумная установка обеспечивает проведение технологического процесса в автоматическом режиме, с выводом всех характеристик на монитор компьютера.

Управление установкой

  • Компьютер с программным обеспечением реального времени.
  • Контроллеры фирмы Advantech или Siemens для управления установкой и контролем технологических процессов.

Характеристики программного обеспечения для управления и контроля

  • Вакуумное оборудование для нанесения оптических покрытийПолностью автоматическая работа по рецептам пользователя.
  • Полностью автоматическое, так и ручное управление циклом напыления посредством графического интерфейса пользователя.
  • Модульная структура редактирования рецептов.
  • Запись протоколов процесса, событий и ошибок.
  • Визуализация данных в процессе напыления в виде: графиков роста пленки (скорости и толщины), параметров давления и температуры, скорости подачи газов и др.
  • Доступ ко всем контроллерам и логическим функциям (сервис режим).
  • Система помощи online.
  • Система удаленного доступа для диагностики установки и ошибок.

Спектрометрическая система имеет два режима работы: для видимой области (350-850 нм) и для ИК-области (1000-2500 нм), разрешение в видимой области не хуже 1.5 нм, в ИК-области - 3-5 нм. Контроль толщины покрытий проводится по образцам свидетелям, расположенным в механизме перевода. Количество образцов: не менее 8 шт.

Дозатор управляет автоматической подачей испаряемых материалов, тем самым обеспечивает стехиометрический состав оптических покрытий. Нагреватели обеспечивают нагрев изделий до температуры 3200С. Время одного цикла для нанесения фильтров в зависимости от технологического процесса составляет 8 часов.

Выход годных изделий достигает до 80%, при этом 20% остальных изделий отличаются только по длине волны на 5-10%, что является высоким результатом.

Предложение включает в себя изготовление установки, передачу технологии нанесения покрытий, пуско-наладочные работы, обучение персонала.

Изготовитель обеспечивает запасными частями из расчета 12 месяцев работы установки. В перечне ЗИП указываются быстро изнашивающиеся детали и необходимые комплектующие.

Срок изготовления установки для нанесения оптических покрытий 6-7 месяцев.

Возможен вариант заключения договора по дальнейшему сервисному обслуживанию установки.

 

Также см.: