Электронно-лучевые испарители ЭЛИ

Электронно-лучевые испарители включают по четыре тигля, с размерами стандарта фирмы Umicore, объемом по 4 cm3. ЭЛИ имеют форму перевернутого усеченного цилиндра высотой 10 мм, верхним радиусом 27 мм и нижним - 21 мм. Электронно-лучевой испаритель имеет экран из тугоплавкого материала (типа молибден), закрывающего три тигля от подпыления материала из работающего тигля, стоящего во фронтальном положении.

Характеристики блока питания ЭЛИ

Блок питания ЭЛИ работает в автоматическом режиме и обеспечивает выполнение следующих функций:

  • Нанесение необходимой толщины покрытий с учетом выбранного материала и установленной скорости испарения.
  • Стабилизацию скорости нанесения покрытий.
  • Максимальную мощность ЭЛИ: 6 кВт.
  • Фокусировку пятна ЭЛИ на испаряемом материале: не более 5x8 мм.
  • Вращение тиглей с определением каждой позиции.
  • Максимальное ускоряющее напряжение ЭЛИ: 12 кВ.
  • Ступени ускоряющего напряжения ЭЛИ: 6, 10, 12 кВ.
  • Ток электронного пучка: 0-1,0 А.
  • Управление заслонками ЭЛИ.
  • Остановку процесса нанесения покрытий.
  • Защиту от перегрузок и короткого замыкания.

Для отображения информации применяется логический контроллер, который задает необходимые параметры, управляет режимами работы.

Применяется блок с системой автоматического сканирования электронного луча SWEEP, который позволяет осуществлять сканирование луча по заданной программе и траектории, тем самым обеспечивает равномерную выработку испаряемого материала.

Информация о работе электронно-лучевого испарителя отображается на дисплее персонального компьютера.

Компания «Технологии и Предложения» осуществляют услуги по вакуумному напылению покрытий.

 

Также см.: